充气流量

0 – 50 SLM (MFC 可变流量)

充气时间

0 – 600 秒

支援设定 Recipe，连接 EAP全自动 Run货

多种充气模式

Continue/Recipe/Clean/Idle

实时湿度监控

支援 Alarm 与 FDC 功能

内建RFID Reader、E84 Sensor

支援 Entegris ＆SEP 300mm FOUP

可扩充 Monitor Management System