半导体微污染防治设备

Standalone

产品详情

充气流量

0 – 50 SLM(质量流量控制器)

充气时间

0 – 600 秒

内建RFID Reader

支援设定 Recipe

实时湿度、氧气浓度监控

支援 Alarm 与 FDC 功能